體積電阻率表面電阻率測試儀測量采用三電極法對試樣進行測試，其試驗裝置主要有平板式電極裝置和高阻計兩部分組成。基本原理是對試樣加入不同擋位的直流電壓，流經試樣的微弱電流用標準電阻取樣放大后，從高阻計上讀出。數(shù)字直接顯示出電阻值,精度高、顯示迅速、穩(wěn)定性好、讀數(shù)方便。